旋渦式真空泵是目前真空泵中的一種主流設備
瀏覽次數:643發布日期:2023-04-24
隨著科技的發展,現代工業中使用的真空設備也越來越多,從微電子工業到航空航天領域,都需要使用到真空設備。而在這些真空設備中,真空泵的作用至關重要,它是真空系統中的核心部件,其作用是抽取系統內部的氣體,以達到所需的真空度。旋渦式真空泵作為當前使用比較廣泛的一種真空泵,它的特點是抽取范圍廣、抽取效率高、噪音小、維護成本低等,具有眾多優點。
旋渦式真空泵是一種利用離心力和相對高速旋轉的轉子來抽取氣體的泵。它的核心是由一個馬達和一個葉輪兩個主要部件組成。當馬達啟動時,轉子開始高速旋轉,根據離心力的原理,離心泵的設計在葉輪內壁形成一個旋渦,這個旋渦可以使氣體在葉輪內部得以抽取。它的工作原理是不需要油來實現高速旋轉的。
旋渦式真空泵使用廣泛,主要用于中高真空度的抽取,這種泵最佳的承壓范圍是 1 × 10^-2 Pa 至 1 × 10^-6 Pa。同時,它適用于大范圍的氣體種類,如惰性氣體、可燃氣體和腐蝕性氣體等,而且由于旋渦泵沒有相對的旋轉表面,所以不會在真空泵中產生污染,也不會污染物體表面上的材料或氣體。
同時,該設備的抽取效率高,對所抽氣體處理后的檔案質量比較高。這主要是由于旋渦泵泵入氣體與泄出氣體不接觸,因而只要泵的材料比氣體的揮發溫度高,則氣體就不會被泵出。這種工作原理還使得旋渦泵可以持續工作而無需通過冷卻進行維護。
除此之外,該設備的噪音非常小,通??梢缘陀?50 分貝,因此不會對生產或實驗造成任何干擾。還有,旋渦泵具有緊湊的結構和輕便的重量,容易安裝和操作。
需要注意的是,旋渦式真空泵的新穎結構并不意味著它擺脫了故障的問題。它仍然需要定期清洗和保養,以保證其持續高效工作。